- 加工定制:是
- 品牌:其他
- 型號:MC-1600L
- 類型:質(zhì)量流量計
- 測量范圍:2-5000SCCM
- 精度等級:≤滿量程1%
- 公稱通徑:
- 適用介質(zhì):非腐蝕性氣體
- 工作壓力:
- 工作溫度:5-45
- 規(guī)格:
◆ 流量可覆蓋2-5000sccm非腐蝕性氣體(相對于n2)
◆ 極具性價比
◆ 模擬通訊控制模式,同類產(chǎn)品中表現(xiàn)出色
◆ 自動復(fù)零功能設(shè)置,增加工藝穩(wěn)定性
規(guī)格
mc-1600l
full scale range (n2 eqv)
單氣體2-5000sccm
control va*e type 閥門類型
常閉式螺線管
fitting 接頭
1/4"vcr兼容 or 1/4"swagelok兼容
seals 密封
橡膠 viton
response time 響應(yīng)時間
到達(dá)設(shè)定點±2% 所需時間≤2sec
accuracy 精確性
≤滿量程1%
linearity 線性度
≤ 滿量程的±1%
repeatability 重復(fù)性
≤ 滿量程的±0.5%
differential pressure 壓差
7 - 40psi
10 - 40psi
leak lntegrity 漏率
max:1x10-7pa.m3/sec (he)
control range 控制范圍
滿量程的5-100%
max operating pressure *操作壓力
50psi
proof pressure 承受壓力
*值150psi
communication type 通訊模式
模擬0-5v
input power
輸入功率
+15vdc ±2% at 25ma
-15vdc ±2% at 180ma
command signal 控制信號
模擬信號0-5 vdc
output signal 輸出模擬信號
模擬信號0-5 vdc
power consumption 功耗
3.1w
temperature range 溫度范圍
5-45 deg c
materials 材料
316lss,ptfe