技術(shù)參數(shù)型號(hào) excel651um excel651uc excel652um excel652uc excel654um excel654uc
量測(cè)行程? 650x650x160mm 650x650x250mm 650x650x400mm
外形尺寸 1311x1604x1608mm? 1311x1604x1788mm 1311x1604x2088mm?
重量? 1530kg? 1550kg? 1550kg?
承載重量? 100kg? 100kg? 100kg?
平臺(tái)材質(zhì)? 鋼構(gòu)?
基座材質(zhì)? 花崗巖?
傳動(dòng)方式? unique?x&y?monorail,?monorail?linear?z
電控系統(tǒng)? 伺服系統(tǒng):?cnc,?滑鼠,?搖桿?
電源系統(tǒng)? 93-264?vac,?47-63?hz,最大10?amp?
xy?精度? uxy=2.5+l/300μm uxy=2.8+l/300μm uxy=3.2+l/300μm
z?精度? ux=2.5+l/150μm ux=3.0+l/150μm ux=3.5+l/150μm
xy?重現(xiàn)性? 2.5μm 2.8μm 3.2μm
z?重現(xiàn)性? 2.5μm 3.0μm 3.5μm
xy?加速度? 1000mm/s2
z?加速度? 500mm/s2
xy?移動(dòng)速度? 500mm/s
z?移動(dòng)速度? 150mm/s
光學(xué)尺解析度? 0.1μm
影像? 黑白? 彩色? 黑白? 彩色? 黑白? 彩色?
光源? 紅光led 白光led 紅光led 白光led 紅光led 白光led
照明系統(tǒng)? 表面光,?輪廓光,同軸光?
光學(xué)系統(tǒng)/放大倍率? 12x?光學(xué)/2.5x?數(shù)位?zoom?/?15x~1200x?放大倍率?
軟體? inspec?for?windows?metrology?software(2000/xp/vista)
工作環(huán)境? 20℃(68℉)±2°,30-80%濕度

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北京世紀(jì)科信科學(xué)儀器有限公司
周
15811420125
通州區(qū)八里橋南街16號(hào)樓

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